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 sf6氣體提純設備的提純方法!

 sf6氣體提純設備主要是采用單向升華的方式，在升華過程中會有一些低溫雜質將會隨著氣流直接進入到真空泵中，導致真空泵損壞，從而降低設備的使用壽命，也會導致運行成本上升。近年來，現有技術中也設置真空泵保護裝置，該保護裝置為網狀，即在腔體和真空泵之間添加數道過濾網。而過濾網為機械式阻擋的一種方式，一些小分子的粉塵還是會吸入真空泵內。本實用新型的目的在于克服現有技術中一些小分子粉塵會進入真空泵，導致真空泵損壞的問題，從而提供一種小分子粉塵不會進入真空泵的sf6氣體提純設備。

 為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型通過以下技術方案實現：一種sf6氣體提純設備，包括提純升華區，真空泵以及真空泵保護裝置，所述真空泵保護裝置設置在所述真空泵上游，真空泵保護裝置為靜電除塵式。放電極;釋放電荷，附著在漂浮的粉塵上;

 集塵電極;釋放與所述放電極正負相反的電荷，吸附粉塵。所述放電極釋放負電荷，所述集塵電極釋放正電荷，所述的集塵電極為板狀。所述真空泵保護裝置還包括設置在放電極上游的過濾層，所述的過濾層對氣流中的粉塵進行粗過濾。

 所述的過濾層為網狀。所述的提純升華區設置升華爐體。所述升華爐體依次分為石英舟，高溫區，收集區，低溫區。還包括真空過渡室，所述真空過渡室設置在所述升華爐體之后，在所述真空過渡室之后連接所述真空泵保護裝置。

 還包括真空管道，所述真空泵保護裝置通過真空管道連接真空泵。本實用新型的有益效果是：(1)本實用新型提供的sf6氣體提純設備，通過在真空泵之前設置一個靜電除塵式的真空泵保護裝置，靜電除塵裝置的吸塵率達到99%，從而可以避免小分子粉塵進入真空泵，保證進入真空泵的氣體為干凈的氣體，提升設備的使用壽命。2)本實用新型提供的sf6氣體提純設備，通過在放電極之前接一個過濾層，可以過濾掉一部分大顆粒的粉塵，減少放電極和集塵電極的工作量，進一步的提高了工作效率。

 為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下

 001-升華爐體，010-石英舟，011-高溫區，012-收集區，013-低溫區，002-真空過渡室，003-真空泵保護裝置，031-過濾層，032-放電極，033-集塵電極，004-真空管道，005-真空泵。一種sf6氣體提純設備，包括依次連接的升華爐體001、真空過渡室002、靜電除塵式的真空泵保護裝置003、和真空泵005，在真空過渡室002后連接靜電除塵的真空泵保護裝置003，通過真空管道004連接真空泵005。

 在升華過程中，石英舟010內放置有粗糙的有機材料，真空泵005抽真空。升華爐體001加熱有機材料隨著真空氣流的方向流動，一些高溫雜質會沉積在高溫區011，隨著溫度的梯度降低，目標物質會沉積在收集區012，一些低溫雜質會沉積在低溫區013。在這個過程中，還有一些低溫雜質也就是有機材料的粉塵不會沉積在低溫區013

 將會隨著真空氣流經過靜電除塵式的真空泵保護裝置003，有機材料粉塵先通過過濾層031的粗過濾網粗過濾，再經過放電極032發生器釋放大量負電荷，附著在漂浮的粉塵上，然后集塵電極033釋放正電荷，強行吸附粉塵。最后到達真空管路，使干凈的氣體進入真空泵，從而提升設備的使用壽命。也將會使運行成本下降。